16. 製造十二吋晶圓之半導體廠無塵室製程區空間，其製程中使用矽甲烷、三氯矽甲烷等化學品，當設置消防安全設備，下列何者較不適宜？
(A) 結合空調之煙控系統
(B) 二氧化碳滅火器
(C) 極早型預警系統
(D) 泡沫滅火系統

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