20.超高真空化學氣相沉積是在極高真空下進行特殊材料成長,其反應環境約在10-7torr。 若要量測反應壓力,應使用下列何種測量儀器?
(A)U形管壓力計
(B)膜片壓力計
(C)伸縮管壓力計
(D)熱游離真空計

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統計： A(4), B(4), C(7), D(40), E(0) #2523415