試題詳解

34.批次生產比較管制(Run-to-run control, R2R)的基本概念是透過於前製程的量測值或 是製程後的量測值，微調該製程的處方(Recipe)的某個或某幾個參數設定值，下列 描述何者有誤？
(A)所謂 Feedback control 是透過比對量測值與目標值的差異，透過某種演算法計算 之後，回頭修改或補償下一批或下下一批的處方(Recipe)參數設定值
(B)解決過程 中因缺乏線上測量手段而造成難以進行實時過程式控制的問題，從而降低批次產品 的質量差異
(C)所謂 Feed forward control，主要為了補償前製程的變異，透過前製 程的量測值，經由 Model 換算成 Recipe 的設定值，即時修正這批加工物件的 Recipe 參數設定值，以補償前製程變異所造成的影響
(D)就是一種純粹的統計製程管制 (SPC)