34.批次生產比較管制(Run-to-run control, R2R)的基本概念是透過於前製程的量測值或 是製程後的量測值,微調該製程的處方(Recipe)的某個或某幾個參數設定值,下列 描述何者有誤?
(A)所謂 Feedback control 是透過比對量測值與目標值的差異,透過某種演算法計算 之後,回頭修改或補償下一批或下下一批的處方(Recipe)參數設定值
(B)解決過程 中因缺乏線上測量手段而造成難以進行實時過程式控制的問題,從而降低批次產品 的質量差異
(C)所謂 Feed forward control,主要為了補償前製程的變異,透過前製 程的量測值,經由 Model 換算成 Recipe 的設定值,即時修正這批加工物件的 Recipe 參數設定值,以補償前製程變異所造成的影響
(D)就是一種純粹的統計製程管制 (SPC)

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統計: A(3), B(8), C(3), D(75), E(0) #3173154

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#7010805
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私人筆記#7479010
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