題組內容

三、

(二)某半導體封裝製程廢氣中含有多種 VOCS，擬採用串聯冷凝器、沸石 轉輪、蓄熱式焚化爐等三種控制設備加以處理，若上述三者之 VOCS 處理效率分別為 50%、60%、90%，請推估此串聯控制設備之 VOCS 總 處理效率為多少？（10 分）