申論題 - 阿摩線上測驗

申論題資訊

試卷：110年 - 110 地方政府特種考試_三等_環境檢驗、化學工程：儀器分析#104880
科目：儀器分析
年份：110年
排序：0

四、南部科學園區某半導體廠於今年 7 月底證實，其部分廠房來自廠商供應的氣體疑似受污染。假設污染發生於該廠之氧氣槽，而氧氣乃與半導體製造的關鍵工藝有關，包括目前技術之晶圓氧化矽的生成和未來技術之垂直集成所需的晶體氧化物的研發。今欲直接監測其晶圓和研發成品之化學組成，以確定排除污染。

(二)詳述方法 A 的⑴工作原理、⑵儀器系統的基本構造、⑶儀器之任何一種偵測器的名稱和偵測原理。（10 分）