阿摩線上測驗
登入
阿摩線上測驗
登入
四、化學氣相沈積法常被用在電子工業中形成薄膜。常見的一個化學氣相沈 積的反應是以矽甲烷（SiH4）形成多晶矽薄膜，其反應之機制如下：
其中(g)表示氣相，ads 表示吸附相，s 表示固相。雙箭頭表示達到平衡。 根據實驗觀察，此一反應會受到氫氣的抑制。在 SiH4 濃度高時，反應對 於 SiH4 而言，為零級反應（zero order） ，而當 SiH4 濃度低時，反應對於 SiH4 而言，為一級（first order）反應。