題組內容

四、針對半導體光電製程,回答下列問題:

⑵針對控制SiH4輸送的氣動閥,其領氣閥(pilot valve)的氣源應選用GN2(氣態氮 氣)或CDA(壓縮乾燥空氣)?為什麼?(13 分)