申論題 - 阿摩線上測驗

申論題資訊

試卷：98年 - 98 地方政府特種考試_三等_環保技術：環境污染防治技術#31390
科目：環境污染防治技術
年份：98年
排序：0

三、高科技工業排氣中含有大量酸鹼等氣體，主要是由於晶圓蝕刻及晶圓清洗製程所產生的，請列出至少五種該類氣體，並說明一般採用何種方法去除這些氣體？（20 分）