三、離子佈植機(ion implanter)又稱為離子注入機,乃一可將能量為數萬電子伏特(數 十keV)至數十萬電子伏特(數百keV)的離子植入固體(例如晶片)表面的設備, 是半導體製程非常重要的設備。請敘述離子佈植機操作及維修時的潛在危害有那幾 類?並請舉例說明之。(20 分)