申論題內容
二、健康風險評估主要包括四大部分：危害辨識（hazard identification）、暴
露 評 估 （ exposure assessment ）、 劑 量 效 應 關 係 評 估 （ dose-response
、風險特性化（risk characterization）
assessment） 。晶圓製造業離子植入機
台以砷化氫（arsine, AsH3）為原料將砷原子植入到晶圓中形成半導體晶
圓成品。這類離子植入機台必須做定期維護，請以此作業為例，依據上
述健康風險評估四大步驟，說明各步驟應如何執行，以進行相關維修作
業人員的健康風險評估。（25 分）
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