二、請說明半導體元件製作中之微影（photolithography）定義及微影製程主要包括之步驟。（10 分）

七、一蒸餾塔每小時可分離 10000 lb 50%苯及 50%甲苯的混合物。若由塔頂冷凝器所回收的產物含有 95%苯，而由塔底回收的含有 96%的甲苯。蒸汽由塔頂進入冷凝器的速率為每小時 8000 lb。部分產物回到塔內作回流之用，其餘的由他處抽取使用。若塔頂回流的組成（V）與所抽取的產物（D）和回流（R）之組成皆相等，試求出回流量與產物的抽取量之比為何？（20 分）