六、圖五描述磷摻雜矽晶圓穩態擴散過程。已知磷初始濃度為零，表層濃度為 2.5✕1020 atoms/cm3 (CAs)，及磷在矽晶圓內擴散係數 6.5✕10-13 cm2/s，估算需多久時間後在離表面位置 1.76 微米的磷濃度為表層濃度 1%。 提示誤差函數 erf(1.8) = 0.989 及 erf(1.9) = 0.992。（10 分）
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