四、依氣體進入氣室內，閥為開啟或關閉，半導體光電產業常用的氣動閥可分為那兩種？ 試說明之。半導體設備中製程氣體（如矽甲烷、砷化氫、磷化氫）的控制應採用上述 那一種閥？為什麼？（25 分）