四、對矽甲烷使用量較大的半導體、光電產業,一般新設廠房採用 Y-鋼(Y-cylinder)供 應,並將矽甲烷的供應系統放置於 Gas Yard,針對矽甲烷的 Y-鋼供應系統,寫出至 少五個工程保護設施。(儘量寫詳細)(20 分)