四、矽甲烷（SiH4）、磷化氫（PH3）、砷化氫（AsH3）為半導體光電產業常使用的特殊氣體，說明上述三種特殊氣體的危害性？半導體光電產業中的那一個產業（半導體、面板業(TFT-LCD)、發光二極體(LED)、太陽能電池）沒有使用到砷化氫？相對於矽甲烷的使用量，半導體光電產業中的那一個產業砷化氫、磷化氫的使用量較高？（25 分）

一、設備完整性（mechanical integrity）為製程安全管理（process safety management）中重要的單元，依美國職業安全衛生署（OSHA）高危害化學製程安全管理（process safety management of highly hazardous chemicals）法規 29CFR1910.119 的規定，設備完整性所涵蓋的製程設備範圍為何？那些屬於製程防護的第一道防線（the first line of defense）？那些屬於第二道防線（the second line of defense）？（25 分）