四、TMAH(tetramethylammonium hydroxide,氫氧化四甲基銨)常於半導體光電產業的黃光製程做為顯影劑(developer)使用,國內已有三件因人員直接接觸TMAH 造成死亡的案例。國內TMAH 使用量較多的半導體光電廠會將25%TMAH 稀釋成2.38%後再輸送至現場使用,試說明TMAH 稀釋、輸送系統該採取那些工程硬體保護措施?維修操作時該採取那些行政管理措施避免事故發生?(25 分)Hint:TMAH 為一液態鹼。