4 - 阿摩線上測驗

四、TMAH（tetramethylammonium hydroxide，氫氧化四甲基銨）常於半導體光電產業的黃光製程做為顯影劑（developer）使用，國內已有三件因人員直接接觸TMAH 造成死亡的案例。國內TMAH 使用量較多的半導體光電廠會將25%TMAH 稀釋成2.38%後再輸送至現場使用，試說明TMAH 稀釋、輸送系統該採取那些工程硬體保護措施？維修操作時該採取那些行政管理措施避免事故發生？（25 分）Hint：TMAH 為一液態鹼。