(五) Electronic Standby Instrument System（ESIS）

二、健康風險評估主要包括四大部分：危害辨識（hazard identification）、暴露評估（ exposure assessment ）、劑量效應關係評估（ dose-response 、風險特性化（risk characterization） assessment）。晶圓製造業離子植入機台以砷化氫（arsine, AsH3）為原料將砷原子植入到晶圓中形成半導體晶圓成品。這類離子植入機台必須做定期維護，請以此作業為例，依據上述健康風險評估四大步驟，說明各步驟應如何執行，以進行相關維修作業人員的健康風險評估。（25 分）