六、離子佈植機（ion implanter）又稱為離子注入機，其可將能量為數萬電子伏（數十 keV）至數十萬電子伏（數百 keV）的離子植入固體表面的設備，常用於半導體產 業界。請敘述離子佈植機的輻射防護。（10 分）