申論題 - 阿摩線上測驗

申論題資訊

試卷：99年 - 99 高等考試_三級_輻射安全：輻射應用及其防護#39828
科目：輻射應用及其防護
年份：99年
排序：0

六、離子佈植機（ion implanter）又稱為離子注入機，其可將能量為數萬電子伏（數十 keV）至數十萬電子伏（數百 keV）的離子植入固體表面的設備，常用於半導體產業界。請敘述離子佈植機的輻射防護。（10 分）