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五、掃描式電子顯微鏡（Scanning electron microscope, SEM）為化學、生化及 材 料 實 驗室 必備 的 分 析儀 器以 及 感 應耦 合電 漿 質 譜儀 （ Inductively coupled plasma mass spectrometer, ICP-MS）常用於環境化學、半導體工 業、臨床化學、海洋化學的研究與分析應用。
(一)請說明掃描式電子顯微鏡（SEM）的組成元件與分析原理。（12 分）