所屬科目:高考三級◆反應工程及單元操作
(二)如何決定該反應器之膨脹係數(expansion factor, ε)?(5 分)
(一)假設層流(laminar)邊界層區內速度分布為, ,試推導出在 x = L 位置的邊界層厚度(δ)關係式。(10 分)
(二)若紊流(turbulent)邊界層區拖曳係數(drag coefficient, CD)表示成 為在 x = L 位置的 Reynolds number,試寫出紊流邊界層區內可能速度分布。(5 分)
六、圖五描述磷摻雜矽晶圓穩態擴散過程。已知磷初始濃度為零,表層濃度為 2.5✕1020 atoms/cm3 (CAs),及磷在矽晶圓內擴散係數 6.5✕10-13 cm2/s,估算需多久時間後在離表面位置 1.76 微米的磷濃度為表層濃度 1%。 提示誤差函數 erf(1.8) = 0.989 及 erf(1.9) = 0.992。(10 分)