所屬科目:半導體工程
(一)能帶理論中,那一個參數可作為區分導體、半導體與絕緣體的依據? (5 分)
(二)該參數以何數值作為區分半導體與絕緣體的界限?(5 分)
(三)請以能帶結構的角度說明導體、半導體與絕緣體之差異。 (10 分)
(一)在半導體晶格中,載子具有那二種主要的傳輸機制?(4 分)
(二)一個實際的矽 p – n 接面二極體在順偏導通狀態下,有那些電流成分? (8 分)
(三)請說明各電流形成之機制。(8 分)
(一)在 t =0 秒時,多數載子和少數載子的濃度各為多少?(10 分)
(二)請計算 t =0 秒時準費米能階相對於本質費米能階的能量差,並在能帶圖上標示出來。(10 分)
(一)請說明為何金氧半場效電晶體(MOSFET)的長通道與短通道元件之臨界電壓會有所不同。(8 分)
(二)如何從汲/源極設計的角度來抑制短通道效應?並說明此方法可能導致的副作用。(12 分)
五、隨著技術節點持續微縮,曝光技術亦不斷演進。請說明自曝光波長λ=248 nm KrF 以降,至鰭式場效電晶體(FinFET)時代,如何運用各種 不同的曝光技術與圖案化方法來實現更微小的電路圖案。(20 分)