1.樣品引入系統:將分析物樣品在低壓下,以氣態導入離子源。(氣態擴散、GC與ICP、探針導入)
2.離子源:將樣品離子化以產生正、負離子,並給予正離子動能以加速進入質量分析器。(EI、CI、FAB、MALDI、ESI...)
3.質量分析器:用來分離不同質荷比的離子。(磁偏、雙聚焦、TOF、四極柱)
4.檢測器:將來自質量分析器的離子收集,將電流放大。
5.信號讀出裝置:分析結果輸出,常以數字及圖表顯示。