⑵在製作矽元件或矽積體電路時,我們常用氮化矽(Silicon Nitride,Si3N4)作為絕 緣層或披覆層(Passivation Layer),如果要以氮化矽作為絕緣層與披覆層,應該 分別使用何種技術成長?請說明原因。 (每小題 10 分,共 20 分)