題組內容
四、設有一理想的 Si MOS 電容,維持在 T= 300 K,其元件相關參數如下
1.閘極材料為 p+多晶矽(其功函數ΦB=5.2 ev)
2.基板為 n 型矽且雜質摻雜濃度 ND 為 1018 cm -3
3. SiO2的厚度 xox = 2 nm 試求:
(一)此 MOS 電容的平帶電壓(flat-band voltage),VFB 為何?(10 分)
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