題組內容

五、SiO2、S3N4 及 Ta2O5 的相對介電常數(εs)分別約為 3.9、7.6 及 25。

(二)假設以厚度為 3t 微米之 Ta2O5 作為介電層之電容值為 C1;另以各層厚度均分別為 t 微米之 SiO2/S3N4/SiO2作為介電疊層之電容值為 C2。假設兩者具有相同面積,試計算 C1/C2 之比值?(10 分)