申論題

三、起泡擴散器（bubbler）裝盛有機金屬前驅物液體（organometallic liquid），攜帶氣體（carrier gas）通過起泡擴散器，氣泡攜帶前驅物蒸氣帶入沉積反應器中進行下一步化學反應。在下列起泡擴散器操作條件下，計算前驅物蒸氣的飽合蒸氣壓，質傳係數，及氣泡前驅物的質量通量（massflux）。（30 分）
 起泡擴散器溫度 T=343 K，前驅物飽和蒸汽壓（）經驗公式如下式
（假設氣液界面的蒸氣壓為飽合，前驅物蒸氣是理想氣體，質傳濃度差以壓力差表示，質傳壓力差即為 ）