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101年 - 101 鐵路特種考試_高員三級_電子工程：半導體工程#39986

科目：半導體工程 | 年份：101年 | 選擇題數：0 | 申論題數：11

試卷資訊

所屬科目：半導體工程

選擇題 (0)

申論題 (11)

⑴請求出Wp/Wn =？（10 分）
⑵在反偏壓VR = 3V之空乏區總寬度為W(3V)，在VR = 2V之空乏區總寬度為W(2V)，請 求出W(3V)/ W(2V) =？（10 分）
⑴現將射極接負電位，集極接正電位，基極開路（base open），請求出集射極間之 漏流ICEO =？（6 分）
⑵繪出在射極接負電位，集極接正電位，基極開路之偏壓下，少數載子濃度於射極 pE(x)、基極nB(x)、集極pC(x)之分布曲線示意圖。（7 分）
⑶在順向作用區時基極電流IB含有那些電流分量？請說明各別分量之成因與流向。 （7 分）
⑴繪出該偏壓下 MOS 元件之能帶示意圖（energy band diagram）。（6 分）
⑵請求出在矽半導體之淨電荷量Qs (C/cm2) = ？（7 分）
⑶請求出在矽表面之電場強度Es(V/cm) =？（7 分）
⑴請說明各氣體在蝕刻時分別之反應機制。（10 分）
⑵若只有XeF2之蝕刻速率為Ra，只有Ar氣體時之蝕刻速率為Rb，請問Ra+Rb速率和 與R何者較大？請說明理由。（10 分）
五、在半導體製程中使用局部矽氧化（local oxidation of silicon - LOCOS）技術來做隔絕 用，請說明該製程步驟流程，並繪出SiO2形成後之輪廓示意圖。（20 分）