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申論題資訊

試卷:97年 - 97 地方政府特種考試_三等_電子工程:半導體工程#39852
科目:半導體工程
年份:97年
排序:0

題組內容

五、對於一本質(Intrinsic)的矽半導體,進行淺層摻雜(Shallow doping)主要有擴散 與離子佈植兩種技術。

申論題內容

⑵通常在離子佈植過程中有所謂的通道效應(Channeling effect),通道效應是什麼? 對元件特性有什麼影響?(15 分)