四、使用擴散技術(Diffusion technology)將矽(Silicon)晶體摻雜三族元素硼原子(Boron)形成 p 型半導體,若擴散時外加溫度為 1000℃,擴散時間 t 為 1 小時,矽晶體表面的硼濃度 C s 維持在,假設在 1000℃ 時,硼在矽晶體的擴散係數 D 為cm2 /s , 若擴散方程式為C (x,t) =,在時間 t = 0 時,濃度初值條件(Initial condition)C ( x, t ) = 0,在表面 x = 0 時的濃度邊界條件為 C ( x, t ) = Cs ,在距離表面極遠 處 x = ∞ 時的濃度邊界條件為 C ( x, t ) = 0,試求出:
申論題內容
(三)在表面 x = 0 處的擴散梯度 (各小題均計算至小數點後第二位) (誤差函數公式:) (誤差函數公式:)