⑴説明電子迴旋共振化學氣相沉積（Electron Cyclotron Resonance, ECR-CVD）技術之優點。

⑴敘述鎢金屬化學氣相沉積（Chemical Vapor Deposition, CVD-W）技術在極大型積體電路（ULSI）應用上，氣相預清潔（Vapor Phase Precleaning）技術在沉積速率（Deposition Rate）、選擇率（Selectivity）、矽耗（Si Consumption）、黏附（Adhesion）之影響特性。