題組內容

四、回答下列問題:(每小題 10 分,共 40 分)

⑷以砷化鎵的磊晶技術為例,請說明化學氣相沉積(chemical vapor deposition, CVD) 與有機金屬化學氣相沉積(metal-organic chemical vapor deposition, MOCVD)兩者 的差異。