阿摩線上測驗
登入
首頁
>
半導體工程
>
104年 - 104 高等考試_三級_電子工程:半導體工程#39446
> 申論題
申論題
試卷:104年 - 104 高等考試_三級_電子工程:半導體工程#39446
科目:半導體工程
年份:104年
排序:0
申論題資訊
試卷:
104年 - 104 高等考試_三級_電子工程:半導體工程#39446
科目:
半導體工程
年份:
104年
排序:
0
題組內容
二、閘極介電層製程含三層,材料之厚度分別為 30 nm(Al
2
O
3
)、20 nm(HfO
2
)及 10 nm( SiO
2
),已知其介電常數( dielectric constant)分別為 9( Al
2
O
3
) 、 25(HfO
2
)及 3.9(SiO
2
),請求出:(每小題 10 分,共 20 分)
申論題內容
⑵加上偏壓 5 V 於三層材料,各別之壓降 V
Al2O3
、V
HfO2
及 V
SiO2
為多少?