題組內容

五、TEOS（tetra-ethyloxy-silane）oxide 常使用於 PMD（premetal dielectric）及 IMD （intermetal dielectric），若不加其他摻雜物稱為 USG（undoped silicate glass）， 請說明：（每小題 5 分，共 15 分）

⑶ FSG 用途為何及需摻雜何種元素。