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申論題資訊

試卷:102年 - 102 高等考試_二級_電子工程:電子元件#44031
科目:電子元件
年份:102年
排序:0

申論題內容

⑵若以熱氧化法(Thermal Oxidation)在矽晶圓上成長二氧化矽(SiO2)薄膜,已 知矽的原子量是 28,矽的密度是 2.33;氧的原子量是 16;二氧化矽的密度是 2.2。 請問矽晶圓消耗的厚度占成長出二氧化矽薄膜的厚度的百分之幾?(10 分)