題組內容

四、在一氧化製程中，已知當氧化層厚度為 0.5 μm 時，氧化速率（oxidation rate， dxox/dt）為每小時 0.24 μm， 但當氧化層厚度達到 1 μm 時，氧化速率卻變成每小時 0.133 μm，試利用 Grove 模型（Grove model） xox2 + A xox = B（t + τ） （每小題 10 分，共 20 分）

⑴計算此氧化製程之線性氧化常數 B/A（linear oxidation constant）和拋物線氧化常 數 B（parabolic oxidation constant）各為何？並列出其單位。