題組內容

一、設一鋁銅矽(Al-Cu-Si)合金膜的電阻率(resistivity)為 3.2 μohm-cm,試問: (每小題 5 分,共 20 分)

⑶若將⑵所示之合金膜製成兩條平行線,並間隔以 1 μm 寬的 SiO2(SiO2 的相對介 電係數(relative permittivity)為 3.9,真空中介電常數為 8.854 × 10-14 F/cm),則其 對應之電容值(capacitance)為何?