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申論題資訊

試卷:114年 - 114 高等考試_二級_電子工程:積體電路技術#131604
科目:積體電路技術
年份:114年
排序:0

題組內容

一、請就下列積體電路製造技術之相關問題,分別試述之:

申論題內容

(五)就選擇比(selectivity)與蝕刻輪廓(etch profile)兩面向,比較濕蝕刻 (wet etching)與乾蝕刻(dry etching)的優缺點