三、某積體電路包含增強型 nMOSFET 與 pMOSFET 元件。其 nMOSFET 與 pMOSFET 的閘極分別為 poly-Si 與 poly-Si,以及閘極氧化層為使 用乾氧化製程形成的 SiO2。底下就各子題,請說明與解釋 nMOSFET 與 pMOSFET 元件之臨界電壓(threshold voltage)的變化是往正方向變動、 往負方向變動或不變?
(四)在製造過程中發生硼穿透(boron penetration)至氧化層中