申論題內容
五、假設樣品 A 為被氮化鈦（TiN）黏著層完全包覆之銅（Cu）導線，其正方
形截面積為 0.5 μm × 0.5 μm，TiN 之厚度為 t；另樣品 B 為具有相同正方
形截面積之 TiN/鋁（Al）/TiN 堆疊層導線，其上層 TiN 厚度為 40 nm、
下層 TiN 厚度為 60 nm。假設 Cu 之電阻係數為 1.7 μΩ-cm，Al 之電阻
係數為 2.7 μΩ-cm，且樣品 A 與 B 在相同長度之下，具有相同的電阻，
試求樣品 A 之 TiN 黏著層厚度 t =？（20 分）
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