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申論題資訊

試卷:112年 - 112 高等考試_二級_電子工程:積體電路技術#116710
科目:積體電路技術
年份:112年
排序:0

申論題內容

三、在目前的積體電路製程中,除了使用 p-well 與 n-well 的 twin-well 分別置放 nMOS 與 pMOS 電晶體之外,也常用淺溝槽隔離(shallow trench isolation, STI)來隔離電晶體。請說明淺溝槽隔離的製造流程。(25 分)