申論題 - 阿摩線上測驗

申論題資訊

試卷：112年 - 112 高等考試_二級_電子工程：積體電路技術#116710
科目：積體電路技術
年份：112年
排序：0

四、波長為 193 nm 的深紫外光光源一直使用到 7 nm 的製程，而後在 5 nm 以後的製程中才廣泛使用 13.5 nm 的極紫外光當作光源。請說明有那些解析度增強技術的組合使用，讓193 nm 的深紫外光光源能夠一直使用到 7 nm 的製程中。（25 分）