二、關於二氧化矽(SiO2)、氮化矽(Si3N4)與鋁(Al),請列出各一種最常用的濕式 蝕刻溶液(Wet etchant)。(10 分)

詳解 (共 1 筆)

詳解 提供者:cth800102

HF:專吃氧化物

磷酸:專吃氮化物