五、⑴金氧半場效電晶體(MOSFET),當元件越做越小,如 25 奈米以下,為何其中之 氧化物要使用高介電常數材料(High Dielectric Constant, High-k)?有什麼好處? 如何選擇高介電常數材料?(12 分)

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可具有較薄的氧化層