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半導體製程
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101年 - 101 專利商標審查特種考試_三等_電子工程:半導體製程#44824
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⑵請說明 III-V 化合物半導體活性離子蝕刻(Reactive Ion Etching)結果跟那些製程 參數有關。(10 分)
其他申論題
⑴請說明使用TEOS(Tetraethoxysilane, Si(OC2H5)4 )來製作金屬層間氧化絕緣層 SiO2(Inter-Layer Dielectric, ILD),有何優缺點?(10 分)
#149057
⑵請說明使用鋁(Al)或鎢(W)金屬來填 Via hole 或 Contact hole 之方法優缺點。 (10 分)
#149058
三、矽(Si)基板表面上有 2μm的二氧化矽(SiO2)要被蝕刻,二氧化矽的蝕刻速率是 0.8μm/min,二氧化矽對矽的蝕刻選擇比(Selectivity)為 25 比 1,如果三分鐘後停 止蝕刻,試問會有多少下層的矽被蝕刻掉?(20 分)
#149059
四、⑴請說明電漿蝕刻(Plasma Etching)技術之問題點(Problem Issues)。(10 分)
#149060
五、⑴金氧半場效電晶體(MOSFET),當元件越做越小,如 25 奈米以下,為何其中之 氧化物要使用高介電常數材料(High Dielectric Constant, High-k)?有什麼好處? 如何選擇高介電常數材料?(12 分)
#149062
⑵金氧半場效電晶體(MOSFET),當元件越做越小,在後段製程,為何要使用低 介電常數材料(Low Dielectric Constant, Low-k)?有什麼好處?那一種材料介電 常數最小?(8 分)
#149063
一、早在 20 世紀 70 年代,歐美的社會科學家們已經預測「後工業社會」(post- industrial society)的來臨。依據他們的看法,所謂的後工業社會是一個怎樣的社會? 其具有那些不同於工業社會的特徵?試扼要說明並加以評論。(25 分)
#149064
二、貧富差距的現象在各社會中向來普遍受到各界的重視。這種財富及所得不平等的現 象為什麼會存在?它又具有何社會意涵?社會功能論與社會衝突論對此的看法向來 有所差異,甚至是對立的,試扼要說明並比較之。(25 分)
#149065
三、不少中外社會科學家共同發現,民眾對社團的參與呈現下降趨勢,而擔心公民社會 參與的社會資本(social capital)正在減少。請問這裡的社會資本指涉的是什麼?學 者們為什麼擔心它正在減少?(25 分)
#149066
四、娼妓或性工作者應不應該存在這個社會?性交易可以被合法或無罪接受嗎?臺灣的 女性主義運動對這些問題的見解缺乏共識,大致分裂為性別政治與性慾政治兩個對 立論述,前者堅持反娼的立場,後者抱持妓權的主張。試扼要比較這兩種論述的立 論要旨及其理論依據,並提出簡評。(25 分)
#149067